特材真空腔體是保持里面為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀?！?br />
不銹鋼是目前真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無(wú)磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點(diǎn)，在高真空系統(tǒng)中，應(yīng)用廣。
近年來(lái)，為了減少它的制作成本，采用鑄造鋁合金來(lái)制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來(lái)制作用途真空腔體的例子也不少。
為了減小腔內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來(lái)獲得平坦的表面。它的腔體，較多的是利用電解拋光來(lái)進(jìn)行表面處理。
焊接是其制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為不讓空氣中熔化的金屬和氧氣化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，通常采用氬弧焊來(lái)完成焊接。氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周圍噴出保護(hù)氣體氬氣，以免熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。
它的氬弧焊接，原則上要采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外雙重焊接和雙重密封。
它的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子，成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)高真空，要對(duì)腔體進(jìn)行150～250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和里面的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體 外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，以免熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
實(shí)驗(yàn)室的真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時(shí)，開(kāi)始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間烘烤。烘烤過(guò)程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤，這時(shí)它只靠分子泵和前級(jí)泵來(lái)排氣。隨著腔體溫度的升高，腔內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會(huì)惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的增加而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí)，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清掉吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以讓鈦升華泵的正常工作。完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵，增加真空排氣的力度。隨著排氣力度的增加和由于腔體溫度減少而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)好轉(zhuǎn)。
新完成的腔體烘烤時(shí)，一般需要一周時(shí)間，重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了準(zhǔn)確地測(cè)量真空度，停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力足而且烘烤時(shí)間足的話，烘烤后真空度可上升幾個(gè)數(shù)量。
一個(gè)氣壓在1cm2的面積上產(chǎn)生約1kgf的壓力，對(duì)直徑20cm的法蘭來(lái)講，就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體，由于構(gòu)造的不同性使得壓力分散，腔體的壁厚2～4mm就不會(huì)變形。但是，對(duì)于方形腔體，側(cè)面的平板上要承受上噸的壓力，要通過(guò)增加壁厚或設(shè)置加強(qiáng)筋，才能不會(huì)變形。方形腔體一般情況下要比筒形和球形腔體重，而且價(jià)格高。所示為幾種代表性的真空腔體，分別為筒形、球形和方形。
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