真空腔體是保持里面為真空狀態(tài)的容器，它的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是目前真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%—20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點(diǎn)，在高真空系統(tǒng)中應(yīng)用廣。
焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向周圍噴灑保護(hù)氣體氬氣，以免熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。
它的氬弧焊接，原則上采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。
真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子，成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)真空，要對腔體進(jìn)行150—250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶，它在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，以免熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
