哈氏合金腔體因生產(chǎn)加工過程中表面容易油漬等附著物，常用的清洗溶劑包括含洗滌劑的水、石油分餾物、稀酸、堿、有機(jī)溶劑、不同金屬清洗劑等。根據(jù)表面附著物的不同，需要用不同的溶劑進(jìn)行清洗，如銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑，礦物油脂需要用有機(jī)溶劑等。
1、超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而實(shí)現(xiàn)清洗目的。
2、電解侵蝕清洗
電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清洗金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼等。
3、蒸汽脫脂清洗
蒸氣脫脂指被粘物表面用餐劑的蒸氣不斷清洗以到脫脂的目的，適用于表面類脂膜和油脂膜的清洗，操作方法簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)大批量清洗。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴(yán)重的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以有一個(gè)不錯(cuò)的清洗效果。
4、放電清洗
放電清洗一般用于
哈氏合金腔體清洗中，放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系，利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏那謇怼?br />
5、氮?dú)馇逑?br />
氮?dú)馇逑粗饕抢昧说獨(dú)庠诓牧媳砻娴奈綗嵝?、吸留時(shí)間短，容易被抽走的特性，用氮?dú)鉀_洗被污染的真空系統(tǒng)，同時(shí)擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間。
